[发明专利]一种压力注浆法制备石英陶瓷坩埚的生产工艺

摘要

本发明涉及一种压力注浆法制备石英陶瓷坩埚的生产工艺，属于多晶硅行业用高级耐火材料技术领域，其生产工艺通过将具有颗粒级配的熔融石英料球磨成浆料后，利用微孔树脂模具代替传统石膏模，压力注浆过程包括合模、注浆成型和脱模取坯步骤，初始压力为0.1-0.2MPa，让石英泥浆填满模腔后将压力提高到0.3-1.5MPa，保压五分钟左右，使石英浆料中的水份经微孔树脂模具被过滤出去，形成方型坩埚坯体；坯体脱模时，利用压缩空气通过微孔模具背层向坯体表面施压，压力为0.2-0.3MPa。采用本发明制备得的石英坩埚生坯强度高，无残留大气孔，脱模容易，产品具有优异的抗热震、耐高温性能，能够满足多晶硅生产的工艺要求，且素坯干燥速度快，生产占地面积小，制作周期短，成本低廉，适于规模化生产。

主权项

一种压力注浆生产石英陶瓷坩埚的生产工艺，其特征在于：利用微孔树脂模具代替传统石膏模，压力注浆过程包括：制备浇注浆料、合模、注浆成型和启模、脱模取坯步骤，(1)、制备浇注浆料：将石英粉加去离子水磨细制浆，然后加入一定颗粒级配的石英干粉，石英干粉的质量百分比为(40‑80)∶(60‑20)，混合后搅拌形成浇注浆料；(2)、将树脂模具固定在高压注浆机架下，合模后开始注浆，向石英浆料加压，初始压力为0.1‑0.2MPa，让泥浆充分填满模腔后将压力提高到0.3‑1.5MPa，保压4‑6分钟，使泥浆中的水份经模具微孔树脂层被过滤出去，形成方型坩埚坯体；坯体脱模时，利用压缩空气通过脱模气管及透气模具背层向坯体表面施压，压力为0.2‑0.3MPa，使坯体在压力作用下脱离模腔，然后取出坯体，完成坯体与模具脱离。