[发明专利]晶圆的清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 201110457995.0 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102430543A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张晨骋 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆的清洗装置及清洗方法，所述晶圆的清洗装置中清洗平台的上表面倾斜于清洗平台的下表面，在清洗过程中，所述超声波振荡器固定，所述清洗平台做水平周期性连续转动和移动，使所述超声波振荡器与晶圆中心的距离产生周期性连续变化。与现有技术相比，本发明所述晶圆的清洗装置，在清洗过程中，通过所述超声波振荡器固定，所述清洗平台做水平周期性连续移动，使所述超声波振荡器与晶圆中心的距离产生周期性连续变化，从而提高了超声波能量的均匀性，减小了清洗损伤，提升了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆的清洗装置，包括：清洗平台，晶圆固定于所述清洗平台上；超声波振荡器，设置于所述晶圆上方；其特征在于，所述清洗平台的上表面倾斜于清洗平台的下表面，在清洗过程中，所述超声波振荡器固定，所述清洗平台带动晶圆做周期性连续转动和移动，使所述超声波振荡器与晶圆中心的距离产生周期性连续变化。
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