[发明专利]基于碲化镉的光伏模块的制造中的薄膜层的一体化淀积

摘要

本发明涉及基于碲化镉的光伏模块的制造中的薄膜层的一体化淀积。提供了用于碲化镉薄膜光伏装置10的形成中的半导体层的薄膜淀积的设备和过程。该设备100包括一系列一体地连接的室，例如连接到装载真空泵108上的装载真空室106、溅射淀积室112、真空缓冲室120和气相淀积室128。传送器系统104可操作地设置在设备100内，并且构造成按串行布置以受控的速度将衬底10输送进入且输送通过装载真空室106、溅射淀积室112、真空缓冲室120和气相淀积室128。溅射淀积室112、真空缓冲室120和气相淀积室128一体地连接，使得输送通过设备100的衬底10保持在小于大约760托的系统压力处。

主权项

一种用于碲化镉薄膜光伏装置(10)的形成中的半导体层的薄膜淀积的设备(100)，所述设备(100)包括：连接到装载真空泵(108)上的装载真空室(106)，所述装载真空泵(108)构造成将所述装载真空室(106)内的压力降低到初始装载压力；溅射淀积室(112)；气相淀积室(128)；以及，传送器系统(104)，其可操作地设置在所述设备(100)内，并且构造成按串行布置以受控的速度将衬底(10)输送进入且输送通过所述装载真空室(106)，输送进入且输送通过所述溅射淀积室(112)，以及输送进入且输送通过所述气相淀积室(128)，其中，所述溅射淀积室(112)和所述气相淀积室(128)一体地连接，使得输送通过所述设备(100)的所述衬底(10)保持在小于760托的系统压力处。