[发明专利]一种低张力正胶显影液及其制备方法无效
| 申请号： | 201110461720.4 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102540772A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;季文庆;朱龙;邵勇;栾成 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低张力正胶显影液及其制备方法，所述正胶显影液包括以下重量百分比的组合物：四甲基氢氧化铵2.35％～2.41％；聚氧乙烯烷基醚0.2％～0.3％；水97.29％～97.45％。本发明提供的低张力正胶显影液及其制备方法，通过在原有工艺的基础上新加入微量非离子型表面活性剂聚氧乙烯烷基醚，使其表面张力降低到25-35mN/m，从而有效避免常规产品出现的过显及CD值不稳定问题，使其在使用效果不受影响的前提下显影速率均匀快速，使用后产品显影线条无锯齿形且清晰，分辨率达到0.8um。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 张力 显影液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种低张力正胶显影液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：四甲基氢氧化铵 2.35％～2.41％；聚氧乙烯烷基醚 0.2％～0.3％；水 97.29％～97.45％。
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