[发明专利]用于持续沉积的设备和过程中CdTe的时间上可变的沉积速率有效
| 申请号： | 201110461808.6 | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102560376A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | M·J·帕沃尔 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/448 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 柯广华;朱海煜 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明名称为“用于持续沉积的设备和过程中CdTe的时间上可变的沉积速率”。一般地提供用于将升华的源材料气相沉积为光伏模块基板(14)上的薄膜的设备(100)。该设备(100)包括分发板(152)，分发板(152)设在分发管汇(124)下方以及设在输送通过设备(100)的基板(14)的上表面的水平输送面上方限定的距离处。分发板(152)限定经由其中的通道(153)的样式，该通道的样式配置成对升华的源蒸气流在第一纵向端(160)处比在第二纵向端(161)处提供更大的阻力。还提供一种用于将升华的源材料气相沉积以在光伏模块基板(14)上形成薄膜的过程，该过程通过如下步骤完成：通过分发板(152)将升华的源材料分发到基板(14)的上表面上，分发板(152)位于基板(14)的上表面与容器(116)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 持续 沉积 设备 过程 cdte 时间 可变 速率 | ||
【主权项】：
一种用于将升华的源材料气相沉积为光伏模块基板(14)上的薄膜的设备(100)，所述设备(100)包括：沉积头(110)；设在所述沉积头(110)中的容器(116)，所述容器(116)配置成用于接收颗粒状源材料；设在所述容器(116)下方的加热的分发管汇(124)，所述加热的分发管汇(124)配置成将所述容器(116)加热到足够使所述容器(116)内的源材料升华的程度；以及分发板(152)，其设在所述分发管汇(124)下方以及设在输送通过所述设备(100)的基板(14)的上表面的水平输送面上方限定的距离处，所述分发板(152)限定经由其中的通道(153)的样式，以及其中将所述通道(153)的样式配置成对升华的源蒸气流在第一纵向端(160)处比在第二纵向端(161)处提供更大的阻力。
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