[发明专利]用于形成金属图案的方法和装置无效
| 申请号： | 201110463175.2 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102582254A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 金泰烨;白降俊;刘寅奎;金珉奭;具在本 | 申请（专利权）人： | 韩国电子通信研究院 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供用于形成金属图案的方法和装置。该方法中，引发剂和金属图案依次结合在预形成的粘接剂图案之上，所述粘接剂改善了基板和金属之间的粘附和/或连接性能。因此，与引发剂和金属图案直接地形成在基板上而没有粘接剂图案的情况相比，金属图案可以精密地形成而没有不合需要的图案缺失，并且金属互连线和电极可以形成具有改进的电子和/或电气可靠性。粘接剂图案可以使用反向平版印刷法形成，这将带来提高的产率。金属图案可以使用无电的电化学镀法形成，因此可使氧化的金属层还原，改善金属互连线的电气特性。而且，即使在最后的步骤，金属图案可以形成为在厚度和平坦区域的改进的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 金属 图案 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种形成金属图案的方法，包括：在基板上形成粘接剂图案；在所述基板上提供引发剂溶液以形成与所述粘接剂图案结合的引发剂；在所述基板上提供金属前体溶液并进行镀层工序以形成与所述引发剂结合的金属图案；以及进行清洁工序以去除在所述粘接剂图案之间的所述引发剂溶液和所述金属前体溶液。
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