[发明专利]光产酸单体及其前体

摘要

光产酸单体及其前体。提供了一种具有式(I)的单体化合物：其中R¹，R²和R³各自独立为H，F，C_1-10烷基，氟取代C_1-10烷基，C_1-10环烷基，或氟取代C_1-10环烷基，至少一个R¹，R²或R³为F；n为1到10的整数；A是卤化或非卤化含C_2-30烯烃的可聚合基团，以及G⁺为有机或无机阳离子。单体是磺内酯前体反应产物和含羧基或羟基卤化或非卤化含C_2-30烯烃化合物的反应产物。聚合物包括式(I)的单体。

主权项

1.一种具有式(I)的化合物：其中R¹，R²和R³各自独立为H，F，C_1-10烷基，氟取代C_1-10烷基，C_1-10环烷基，或氟取代C_1-10环烷基，条件是至少一个R¹，R²，或R³为F；n为1到10的整数；A是卤化或非卤化含有C_2-30烯烃的可聚合基团，以及G⁺为有机或无机阳离子。