[实用新型]一种籽晶杆有效
申请号: | 201120004747.6 | 申请日: | 2011-01-10 |
公开(公告)号: | CN201962422U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 李红军;于海欧;徐军;陈伟超;唐慧丽;钱小波 | 申请(专利权)人: | 中科协鑫(苏州)工业研究院有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B15/00;C30B17/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种籽晶杆,包括上称重和杆芯,上称重与杆芯连接,在杆芯外设有外套筒,且外套筒与上称重无连接;所述外套筒为中空结构,且外套筒上设有进水口和出水口;所述外套筒中的循环冷却水自进水口流入,再经出水口流出。本实用新型具有以下优点:1)装置简单,成本低,减少了工作量;2)冷却效果好,同时提高了称重系统检测晶体质量的准确性;3)在不影响晶体质量检测的情况下,优化了晶体生长工艺,易实现生长系统的自动化。 | ||
搜索关键词: | 一种 籽晶 | ||
【主权项】:
一种籽晶杆,包括上称重(1)和杆芯(3),上称重(1)与杆芯(3)连接,其特征为,在杆芯(3)外设有外套筒(2),且外套筒(2)与上称重(1)无连接;所述外套筒为中空结构,且外套筒上设有进水口(4)和出水口(5);所述外套筒(2)中的循环冷却水自进水口(4)流入,再经出水口(5)流出。
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