[实用新型]一种晶圆测试卡在审
申请号: | 201120005715.8 | 申请日: | 2011-01-10 |
公开(公告)号: | CN201926676U | 公开(公告)日: | 2011-08-10 |
发明(设计)人: | 彭玉元 | 申请(专利权)人: | 彭玉元 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及电子检测设备领域,具体是指一种晶圆测试卡。该测试卡包括探针卡及探针卡下部的测试件,探针卡内设有测试电路,其特征在于,所述测试件为导电胶条。本实用新型以导电胶条替代现有的钨钢,将传统的硬接触改为软接触获取信号的方式,有效降低了对测试晶圆的损害,防止测试晶圆损伤,保证了测试的精确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 测试 | ||
【主权项】:
一种晶圆测试卡,包括探针卡及探针卡下部的测试件,探针卡内设有测试电路,其特征在于,所述测试件为导电胶条。
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