[实用新型]一种石墨舟载体

摘要

本实用新型涉及一种石墨舟载体，包括石墨舟片、陶瓷管、陶瓷棒、第一螺母与第二螺母，在石墨舟片上开设有陶瓷棒插孔，陶瓷管内沿着轴向开设有陶瓷棒穿孔，相邻两片石墨舟片之间设有陶瓷管，陶瓷棒穿在陶瓷棒插孔与陶瓷棒穿孔内，在陶瓷棒的外端部螺接有一个第一螺母和一个第二螺母，该端的第一螺母位于第二螺母的外侧；在陶瓷棒的内端部海螺接有一个第一螺母和一个第二螺母，该端的第一螺母位于第二螺母的内侧，在石墨舟片、陶瓷管或者第二螺母上开设有联通槽。本实用新型可以将陶瓷管内的空气抽完，提高硅片镀膜质量。

主权项

一种石墨舟载体，包括石墨舟片（1）、陶瓷管（2）、陶瓷棒（3）、第一螺母（4）与第二螺母（5），在石墨舟片（1）上开设有陶瓷棒插孔（1.1），陶瓷管（2）内沿着轴向开设有陶瓷棒穿孔（2.1），相邻两片石墨舟片（1）之间设有陶瓷管（2），陶瓷棒（3）穿在陶瓷棒插孔（1.1）与陶瓷棒穿孔（2.1）内，在陶瓷棒（3）的外端部螺接有一个第一螺母（4）和一个第二螺母（5），该端的第一螺母（4）位于第二螺母（5）的外侧；在陶瓷棒（3）的内端部海螺接有一个第一螺母（4）和一个第二螺母（5），该端的第一螺母（4）位于第二螺母（5）的内侧，其特征是：在石墨舟片（1）、陶瓷管（2）或者第二螺母（5）上开设有联通槽（6）。