[实用新型]带过滤屏的阴极弧离子镀装置有效
| 申请号： | 201120008051.0 | 申请日： | 2011-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN202022974U | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 超晶科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/38 | 分类号： | C23C14/38 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 萨摩亚*** | 国省代码： | 萨摩亚;WS |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其目的在于提供一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置，能够能效的抑制金属液滴的产生，且能过滤阴极弧源产生的较大颗粒的金属液滴，获得较高表面质量的金属氮化物涂层，设备简单，沉积速度快，膜基结合力好。本实用新型包括真空室、电源与控制装置和供气设备，真空室上连有抽真空设备和循环水冷却设备，真空室内设有旋转工件支架，所述真空室侧壁上均布有多个前端与真空室连通的阴极弧源，阴极弧源分别与电源与控制装置和供气设备连接，阴极弧源的前端口上设有网状过滤屏。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 阴极 离子镀 装置 | ||
【主权项】：
一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置，包括真空室（1）、电源与控制装置（2）和供气设备（3），真空室上连有抽真空设备（4）和循环水冷却设备（5），真空室内设有旋转工件支架（6），其特征在于：所述真空室侧壁上均布有多个前端与真空室连通的阴极弧源（7）， 阴极弧源分别与电源与控制装置和供气设备连接，阴极弧源的前端口上设有网状过滤屏（8）。
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