[实用新型]一种简单有效的四氟化硅提纯系统有效
| 申请号： | 201120010993.2 | 申请日： | 2011-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN201942524U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 杨建松;陈德伟;栗广奉;耿金春 | 申请（专利权）人： | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种简单有效的四氟化硅提纯系统。它包括四氟化硅反应器、四氟化硅净化塔、硫酸循环槽、硫酸冷却器、硫酸循环泵、冷冻水系统；硫酸冷却器顶部与四氟化硅净化塔上部相连，硫酸冷却器底部经硫酸循环泵、硫酸循环槽、四氟化硅反应器、四氟化硅净化塔底部顺次相连，四氟化硅净化塔下部与硫酸循环槽相连，冷冻水系统与硫酸冷却器相连。本实用新型采用浓硫酸循环使用，节省了现有技术中大量的液氮冷源成本，避免了现有技术中四氟化硅提纯系统的能源浪费，提高四氟化硅纯化效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简单 有效 氟化 提纯 系统 | ||
【主权项】：
一种简单有效的四氟化硅提纯系统，其特征在于包括四氟化硅反应器(9)、四氟化硅净化塔(10)、硫酸循环槽(11)、硫酸冷却器(12)、硫酸循环泵(13)、冷冻水系统(14)；硫酸冷却器(12)顶部与四氟化硅净化塔(10)上部相连，硫酸冷却器(12)底部经硫酸循环泵(13)、硫酸循环槽(11)、四氟化硅反应器(9)、四氟化硅净化塔(10)底部顺次相连，四氟化硅净化塔(10)下部与硫酸循环槽(11)相连，冷冻水系统(14)与硫酸冷却器(12)相连。
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