[实用新型]一种批量制备大纵横比三维微结构的系统无效
| 申请号： | 201120018367.8 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN202007125U | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 周雅各;章海军;张冬仙 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种批量制备大纵横比三维微结构的系统。采用电化学沉积和分别用步进电机控制微电极Z向移动与加工基底XY向移动的方法，实现了各种不同三维微结构的快速批量制备。该系统具有相连接的计算机、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统、三维微结构批量制备核心单元、电源及控制电路。本实用新型采用的微电极解决了加工效率和精度不高、加工尺度不够微细、加工稳定性不足等问题，可加工出纵横比大均匀性好的三维微结构，同时通过将多个微电极并联和分别用步进电机控制微电极Z向移动与加工基底XY向移动的方式实现了精确高效批量进行三维微结构的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 制备 纵横 三维 微结构 系统 | ||
【主权项】：
一种批量制备大纵横比三维微结构的系统，其特征在于包括计算机、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统、三维微结构批量制备核心单元、电源及控制电路；计算机分别与XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统相连接，三维微结构批量制备核心单元分别与电源及控制电路、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统相连接；三维微结构批量制备核心单元包括阳极微电极（1）、防震平台（2）、XY向步进平移台（3）、电解液池（4）、阴极基底（5）、硫酸铜和硫酸的混合溶液（6）、直流电源（7）、限流电阻（8）、滑动变阻器（9）、Z向步进电机（10）；在防震平台（2）上设有XY向步进平移台（3）、直流电源（7）、Z向步进电机（10），在XY向步进平移台（3）上设有电解液池（4），在电解液池（4）底部固定有阴极基底（5），在电解液池（4）内部充满硫酸铜和硫酸的混合溶液（6），在Z向步进电机（10）上固定有阳极微电极（1）。
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