[实用新型]一种金属光热驱动微开关无效
| 申请号： | 201120018370.X | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN201966133U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵冬伟;张冬仙;章海军;伊福廷;王波 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01H37/02 | 分类号： | H01H37/02;H01H37/46;B81B3/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属光热驱动微开关。本实用新型采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本实用新型的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 光热 驱动 开关 | ||
【主权项】：
一种金属光热驱动微开关，其特征在于包括激光器（1）、聚焦透镜（2）、下基底（3）、微悬臂（4）、中心圆盘（5）、悬臂触点（6）、基底触点（7）、上基底（8）；下基底（3）上顺次设有微悬臂（4）、中心圆盘（5）、悬臂触点（6）；基底触点（7）位于上基底（8）上，激光经激光器（1）和聚焦透镜（2）准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的中心圆盘（5）上，中心圆盘（5）吸收激光的能量，向微悬臂（4）传导热量，微悬臂（4）局部温度升高后向上伸长，从而使悬臂触点（6）与基底触点（7）接触，实现开关功能。
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