[实用新型]一种冷却挡板装置有效
| 申请号： | 201120023560.0 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN201999987U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;李桂良 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海衡方知识产权代理有限公司 31234 | 代理人： | 王福新 |
| 地址： | 201617 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到一种镀膜溅射冷却系统装置,尤其涉及到一种冷却挡板装置。其包括框架、连接板、支撑件、多排水管、冷却挡板水头压板、托架、KF法兰，其中，所述多排水管采用U型结构排布，其极大提高了冷却效果和镀膜质量，增强了各配件的使用寿命，减少了各零部件的更换维修次数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 挡板 装置 | ||
【主权项】：
一种新型冷却挡板装置，其包括框架、连接板、支撑件、多排水管、冷却挡板水头压板、托架、KF法兰，其特征在于，所述多排水管分为内循环水管和外循环水管,所述内循环水管和外循环水管均采用U型结构排布。
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