[实用新型]固定件、设置有所述固定件的石墨舟舟片及石墨舟

摘要

本实用新型涉及一种固定件，其具有工作区域，所述工作区域用于与硅片相接触以将所述硅片固定到石墨舟舟片上，所述固定件上设置有标识部以将所述工作区域标识区分为至少两个区段。本实用新型还涉及设置有上述固定件的石墨舟舟片与石墨舟。采用本实用新型可以解决在例如管式PECVD设备中使用石墨舟时由于频繁更换固定件而造成成本过高、生产效率较低等问题，通过对固定件进行多次利用能够成倍地延长固定件的使用寿命，从而在不影响产品品质的情况下可以显著降低生产过程中固定件的耗用量，实现节省耗材、降低生产成本、保证产品质量并且有效提高生产效率的良好效果。

主权项

一种固定件，其具有工作区域，所述工作区域用于与硅片相接触以将所述硅片固定到石墨舟舟片上，其特征在于，所述固定件上设置有标识部，所述标识部将所述工作区域标识区分为至少两个区段。