[实用新型]一种电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的设备

摘要

本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的设备，设备采用真空盖、真空炉壁及装粉盖构成真空设备，真空设备内腔为真空室；真空室内上部装有装粉桶，装粉桶底部带有出料口，出料口装配有外驱式挡粉板，装粉桶出料口底部装有坩埚，坩埚底部装有拉锭机构，拉锭机构上装有硅锭，电子枪安装在真空室上部，电子束流对准硅锭。本实用新型设备结构简单，同时进行电子束熔炼粉体硅料和定向凝固，用电子束快速去除杂质磷，用定向凝固将分凝系数较小的金属杂质去除，有效提高了多晶硅的纯度，达到了太阳能级硅的使用要求。本实用新型成本低，适合批量生产。

主权项

一种电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的的设备，其特征是：设备采用真空盖、真空炉壁及装粉盖构成真空设备，真空设备内腔为真空室；真空室内上部装有装粉桶，装粉桶底部带有出料口，出料口装配有外驱式挡粉板，装粉桶出料口底部装有坩埚，坩埚底部装有拉锭机构，拉锭机构上装有硅锭，电子枪安装在真空室上部，电子束流对准硅锭。