[实用新型]一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅领域。一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，感应线圈的内部安装上保温套筒，上保温套筒的上面安装保温套盖，保温套盖通过保温盖连杆连接到炉盖上，保温套筒的里面安装石墨套筒，保温套筒和石墨套筒共同固定在支架上，炉底部分水冷铜托盘通过底座支架连接在炉底盖上，石墨支架直接支撑在水冷铜托盘上，石墨支架上支撑安装石墨托盘，石墨托盘上面是石墨坩埚，石墨坩埚里套装石英坩埚，水冷铜托盘与石墨托盘之间有下保温套筒，下保温套筒上安装有上隔热板和下隔热板，隔热板采用块可分别四个方向拉动的隔热板。本实用新型使用双开拉板的散热方式，精确控制能量转移，增加能量的利用率，降低成本。

主权项

一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，其特征是：感应线圈（12）的内部安装上保温套筒（9），上保温套筒（9）的上面安装保温套盖（7），保温套盖（7）通过保温盖连杆（5）连接到炉盖（6）上，保温套筒（9）的里面安装石墨套筒（30），保温套筒（9）和石墨套筒（30）共同固定在支架（17）上，炉底部分水冷铜托盘（23）通过底座支架（22）连接在炉底盖（21）上，石墨支架（19）直接支撑在水冷铜托盘（23）上，石墨支架（19）上支撑安装石墨托盘（30），石墨托盘（30）上面是石墨坩埚，石墨坩埚里套装石英坩埚（14），水冷铜托盘（23）与石墨托盘（30）之间有下保温套筒（18），下保温套筒（18）上安装有上隔热板（26）和下隔热板（20），隔热板采用4块可分别四个方向拉动的隔热板。