[实用新型]通孔互联型圆片级MOSFET封装结构有效

专利信息
申请号: 201120033891.2 申请日: 2011-01-31
公开(公告)号: CN201994303U 公开(公告)日: 2011-09-28
发明(设计)人: 陈栋;张黎;陈锦辉;赖志明 申请(专利权)人: 江阴长电先进封装有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L23/367;H01L29/417;H01L23/482
代理公司: 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人: 唐纫兰
地址: 214434 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种通孔互联型圆片级MOSFET封装结构,包括芯片本体(1-1),芯片本体正面设置有芯片源电极(2-1)和芯片栅电极(2-2),芯片本体、芯片源电极和芯片栅电极正面设置有芯片表面保护层(3),在芯片本体(1-1)正面和背面贯穿有芯片通孔(1-2),在芯片源电极(2-1)、芯片栅电极(2-2)和芯片表面保护层(3)的表面设置有线路层(4),以及在芯片通孔(1-2)内填充有线路层(4),且在芯片通孔(1-2)内填充的线路层(4)没有密闭芯片通孔(1-2),而是留有空腔的半填充结构,在芯片本体(1-1)的背面(1-3)设置与线路层(4)互联的背面金属层(7)。本实用新型可以提供具有高性能和高可靠性的封装结构。
搜索关键词: 通孔互联型圆片级 mosfet 封装 结构
【主权项】:
一种通孔互联型圆片级MOSFET封装结构,包括芯片本体(1 1),其特征在于:所述芯片本体(1 1)正面设置有芯片源电极(2 1)和芯片栅电极(2 2),芯片本体(1 1)、芯片源电极(2 1)和芯片栅电极(2 2)正面设置有芯片表面保护层(3),在芯片本体(1 1)正面和背面贯穿有芯片通孔(1 2),在所述芯片源电极(2 1)、芯片栅电极(2 2)和芯片表面保护层(3)的表面设置有线路层(4),以及在芯片通孔(1 2)内填充有线路层(4),且在芯片通孔(1 2)内填充的线路层(4)没有密闭芯片通孔(1 2),而是留有空腔的半填充结构,而且线路层(4)直接与芯片通孔(1 2)侧壁相连,之间无任何绝缘隔离层,在线路层(4)表面设置有线路表面保护层(5),在芯片本体(1 1)正面的线路层(4)表面设置有焊球(6),在芯片本体(1 1)的背面(1 3)设置有背面金属层(7),且背面金属层(7)与线路层(4)互联。
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