[实用新型]通孔互联型圆片级MOSFET封装结构有效
申请号: | 201120033891.2 | 申请日: | 2011-01-31 |
公开(公告)号: | CN201994303U | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 陈栋;张黎;陈锦辉;赖志明 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L23/367;H01L29/417;H01L23/482 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种通孔互联型圆片级MOSFET封装结构,包括芯片本体(1-1),芯片本体正面设置有芯片源电极(2-1)和芯片栅电极(2-2),芯片本体、芯片源电极和芯片栅电极正面设置有芯片表面保护层(3),在芯片本体(1-1)正面和背面贯穿有芯片通孔(1-2),在芯片源电极(2-1)、芯片栅电极(2-2)和芯片表面保护层(3)的表面设置有线路层(4),以及在芯片通孔(1-2)内填充有线路层(4),且在芯片通孔(1-2)内填充的线路层(4)没有密闭芯片通孔(1-2),而是留有空腔的半填充结构,在芯片本体(1-1)的背面(1-3)设置与线路层(4)互联的背面金属层(7)。本实用新型可以提供具有高性能和高可靠性的封装结构。 | ||
搜索关键词: | 通孔互联型圆片级 mosfet 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种通孔互联型圆片级MOSFET封装结构,包括芯片本体(1 1),其特征在于:所述芯片本体(1 1)正面设置有芯片源电极(2 1)和芯片栅电极(2 2),芯片本体(1 1)、芯片源电极(2 1)和芯片栅电极(2 2)正面设置有芯片表面保护层(3),在芯片本体(1 1)正面和背面贯穿有芯片通孔(1 2),在所述芯片源电极(2 1)、芯片栅电极(2 2)和芯片表面保护层(3)的表面设置有线路层(4),以及在芯片通孔(1 2)内填充有线路层(4),且在芯片通孔(1 2)内填充的线路层(4)没有密闭芯片通孔(1 2),而是留有空腔的半填充结构,而且线路层(4)直接与芯片通孔(1 2)侧壁相连,之间无任何绝缘隔离层,在线路层(4)表面设置有线路表面保护层(5),在芯片本体(1 1)正面的线路层(4)表面设置有焊球(6),在芯片本体(1 1)的背面(1 3)设置有背面金属层(7),且背面金属层(7)与线路层(4)互联。
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