[实用新型]后通孔互联型圆片级MOSFET封装结构有效
申请号: | 201120033895.0 | 申请日: | 2011-01-31 |
公开(公告)号: | CN201994305U | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 陈栋;胡正勋;张黎;陈锦辉;赖志明 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L23/367;H01L29/417;H01L23/482 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种后通孔互联型圆片级MOSFET封装结构,在芯片本体(1-1)正面设置有芯片源电极(2-1)和芯片栅电极(2-2);在芯片本体、芯片源电极和芯片栅电极正面设置有芯片表面保护层(3);在芯片本体、芯片源电极、芯片栅电极和芯片表面保护层的表面设置有正面线路层(4);在正面线路层和芯片表面保护层表面设置有线路表面保护层(5);在正面线路层表面设置有焊球(7);在芯片本体正面和背面贯穿有芯片通孔(1-2);在所述芯片本体背面设置有线路层(6),以及在芯片通孔内填充有线路层(6),且填充于芯片通孔的线路层与芯片通孔侧壁直接接触、以及与正面线路层形成互联。本实用新型具有高性能和高可靠性的封装结构。 | ||
搜索关键词: | 后通孔互联型圆片级 mosfet 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种后通孔互联型圆片级MOSFET封装结构,包括芯片本体(1 1),其特征在于:在所述芯片本体(1 1)正面设置有芯片源电极(2 1)和芯片栅电极(2 2);在芯片本体(1 1)、芯片源电极(2 1)和芯片栅电极(2 2)正面设置有芯片表面保护层(3);在芯片本体(1 1)、芯片源电极(2 1)、芯片栅电极(2 2)和芯片表面保护层(3)的表面设置有正面线路层(4);在正面线路层(4)和芯片表面保护层(3)表面设置有线路表面保护层(5);在正面线路层(4)表面设置有焊球(7);在芯片本体(1 1)正面和背面贯穿有芯片通孔(1 2);在芯片本体(1 1)背面设置有线路层(6),以及在芯片通孔(1 2)内填充有线路层(6),且填充于芯片通孔(1 2)的线路层(6)与芯片通孔(1 2)侧壁直接接触、以及与正面线路层(4)形成互联。
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