[实用新型]心跳型单结构三轴微机电陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种心跳型单结构三轴微机电陀螺仪，它包括衬底以及轴结构，所述的轴结构包括水平轴结构和z轴结构，所述的水平轴结构和z轴结构分别安装在所述衬底上，该陀螺仪采用径向收缩一扩张的心跳型单一驱动模式，各轴均使用独立的感应结构。水平轴结构沿x、y轴对称布置，z轴结构共四组，分布在水平轴结构之间并且两两对称，相邻的水平轴结构和z轴结构之间在外侧使用脐带连接，使得三轴结构获得单一驱动，每个水平轴的两个质量块用十字连接器相连，感应时可实现相位相反的同步运动，z轴四个质量块用四个同步协调器依次连接，可以实现质量块在感应时的同步运动。x、y、z轴三轴均实现驱动与检测的互相解耦。

主权项

一种心跳型单结构三轴微机电陀螺仪，它包括衬底以及轴结构，其特征在于：所述的轴结构包括水平轴结构和z轴结构，所述的水平轴结构和z轴结构分别安装在所述衬底上，所述的水平轴结构由四组水平轴分结构和位于水平轴分结构中心处并且分别与所述的四组水平轴分结构相连接的十字连接器组成，所述的四组水平轴分结构分别位于x轴和y轴的轴线上，呈对称状分布；所述的z轴结构由四组z轴分结构和位于所述z轴分结构外侧的四个同步协调器组成，所述的四个同步协调器分别连接相邻的z轴分结构，所述的四组z轴分结构和所述的四组水平轴分结构交错分布，四组z轴分结构分别位于x轴和y轴构成的坐标轴的角分线上，呈对称状分布，所述的四组水平轴分结构和四组z轴分结构通过八条脐带依次连接。