[实用新型]一种纳米微位移测量传感器

摘要

本实用新型涉及一种纳米微位移测量传感器，涉及地学观测技术领域，主要用于测量两点间相对微小位移的变化，尤其适用手地学上钻孔应变、断层相对变化、地壳両基点间伸缩量变化的微小位移测量。本实用新型主要由步进电机驱动系统、步进电机驱动系统固定滑块、精密丝杠、带内丝滑块组成的纳米微位移发生装置、由电容位移传感器动极板支体、电容位移传感器定极板支体、电容位移传感器定极板支体、压簧和分别固定在支体上的电容位移传感器4块环形极板组成的微位移测量装置和由导轨支撑装置基体、导轨支撑装置盖板和导轨支撑装置盖板组成的导轨支撑装置构成。本实用新型解决了地学上两点间微小位移测量的位移标定和量程变换的问题，该装置也可广泛用于其它领域的微位移测量。

主权项

一种纳米微位移测量传感器，其特征是：由纳米微位移发生装置、微位移测量装置和导轨支撑装置组成，纳米微位移发生装置由步进电机驱动系统(2)、与步进电机驱动系统(2)连在一起的步进电机驱动系统固定滑块(3)、与步进电机驱动系统(2)连在一起的精密丝杠(5)，以及和精密丝杠(5)相配合的带内丝滑块(6)组成；微位移测量装置为差动电容位移传感器，由电容位移传感器动极板支体(7)、电容位移传感器定极板支体A(8)、电容位移传感器定极板支体B(10)、压簧(12)和分别固定在支体上的电容位移传感器4块环形极板(9)组成；导轨支撑装置由带有方形凹槽的导轨支撑装置基体(1)、导轨支撑装置盖板C(4)和导轨支撑装置盖板D(11)组成。