[实用新型]一种储存和循环回收氯硅烷的装置

摘要

本实用新型公开了一种储存和循环回收氯硅烷的装置。本实用新型的装置包括氯硅烷储罐、冷凝器，氯硅烷储罐与冷凝器之间设置有氯硅烷气体管道和氯硅烷冷凝液回流管，在氯硅烷气体管道上设置了气动开关阀，在冷凝器的氯硅烷冷凝液管与氯硅烷冷凝液回流管之间增设了缓冲罐、气动调节阀，在氯硅烷冷凝管的出口处设置有信号收集器，信号收集器通过控制器与气动开关阀及气动调节阀之间信号连接。进一步的，在缓冲罐与气动调节阀之间还设有过滤器，在缓冲罐顶部与冷凝器气相入口之间还设置有回气管，本实用新型通过关闭气动调节阀和堵塞过滤器，能有效地阻止泄漏的冷却循环水进入氯硅烷储罐并与其中的氯硅烷发生反应，避免安全事故的发生。

主权项

一种储存和循环回收氯硅烷的装置，包括氯硅烷储罐（1）、冷凝器（4），冷凝器（4）上设置有冷却循环水进水管（5）、冷却循环水出水管（6）和氯硅烷冷凝液管（7）、不凝尾气出口（15），氯硅烷储罐（1）与冷凝器（4）之间设置有氯硅烷气体管道（2）和氯硅烷冷凝液回流管（11），其特征在于：氯硅烷气体管道（2）上还设置有气动开关阀（3），所述氯硅烷冷凝液管（7）与氯硅烷冷凝液回流管（11）之间还设有缓冲罐（8）、气动调节阀（10），所述氯硅烷冷凝液管（7）伸入到缓冲罐（8）罐内，所述缓冲罐（8）、气动调节阀（10）、氯硅烷冷凝液回流管（11）依次管道连接，氯硅烷冷凝管（7）的末端或缓冲罐（8）内壁设置有信号收集器（13），储存和循环回收氯硅烷的装置中还设有控制器（14），所述信号收集器（13）通过控制器（14）与气动开关阀（3）及气动调节阀（10）信号连接。