[实用新型]用于多晶铸锭炉的气体冷却装置有效
申请号: | 201120040603.6 | 申请日: | 2011-02-17 |
公开(公告)号: | CN202090106U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 傅林坚;曹建伟;石刚;叶欣;高宇;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B28/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 310023 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本实用新型通过在热场底部增加一个主动散热的气体冷却装置,并通过调节通入装置内的气体流量控制主动散热幅度,能够主动的控制晶体下方散热速率,有效控制晶体生长速度。 | ||
搜索关键词: | 用于 多晶 铸锭 气体 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置,设于铸锭炉内热场下方,其特征在于,该气体冷却装置是内部带有气流通道的石墨体。
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