[实用新型]三氯氢硅合成废液汽化装置有效
申请号: | 201120051462.8 | 申请日: | 2011-03-01 |
公开(公告)号: | CN201848184U | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 杨龙;宋高杰;刘兴平;王丽春;陈国辉 | 申请(专利权)人: | 特变电工新疆硅业有限公司 |
主分类号: | B01D47/06 | 分类号: | B01D47/06;B01D1/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型提供一种三氯氢硅合成废液汽化装置,其包括壳体(2)和包覆在壳体(2)外的外夹套(1),所述壳体(2)上设有废液进口(3),壳体顶部设有废液汽化出口(7),外夹套(1)所包覆的壳体部分处于废液进口(3)的下方,外夹套(1)为中空夹套,外夹套(1)上部设有蒸汽进口(9),其底部设有冷凝液出口(10)。该装置可提高三氯氢硅合成尾气处理系统的处理能力,有效避免了传统的三氯氢硅合成排液易出现管道堵塞,难以清理等缺点。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 合成 废液 汽化 装置 | ||
【主权项】:
一种三氯氢硅合成废液汽化装置,其特征在于,包括壳体(2)和包覆在壳体(2)外的外夹套(1),所述壳体(2)上设有废液进口(3),壳体顶部设有废液汽化出口(7),外夹套(1)所包覆的壳体部分处于废液进口(3)的下方,外夹套(1)为中空夹套,外夹套(1)上部设有蒸汽进口(9),其底部设有冷凝液出口(10)。
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