[实用新型]传感器元件及红外线传感器有效
| 申请号： | 201120051689.2 | 申请日： | 2011-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN202204598U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 仲谷吾郎 | 申请（专利权）人： | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;H01L27/16;H01L21/82 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种传感器元件及红外线传感器，其具备：半导体基板；薄膜状的热电元件，其设置在所述半导体基板上并由钛酸锆酸铅构成；覆盖膜，其覆盖所述热电元件，且其最表面构成红外线的受光面；腔体，其在所述半导体基板的与所述热电元件相对的部分，形成从所述半导体基板的表面凹陷的形状，用于将所述热电元件与所述半导体基板热分离。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 红外线 | ||
【主权项】：
红外线传感器，其特征在于，具备：半导体基板；薄膜状的热电元件，其设置在所述半导体基板上并由钛酸锆酸铅构成；覆盖膜，其覆盖所述热电元件，且其最表面构成红外线的受光面；腔体，其在所述半导体基板的与所述热电元件相对的部分，形成从所述半导体基板的表面凹陷的形状，用于将所述热电元件与所述半导体基板热分离。
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