[实用新型]基于机器视觉对准的高精度对准标记结构有效
| 申请号： | 201120064626.0 | 申请日： | 2011-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN202093317U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张雯 | 申请（专利权）人： | 张雯 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 江苏英特东华律师事务所 32229 | 代理人： | 邵鋆 |
| 地址： | 266300 山东省青岛市胶*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于机器视觉对准的高精度对准标记结构，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构的外型结构呈非对称型，非对称型包括非轴对称和非中心对称，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构至少包含一个线条并行排列的线条阵列，线条阵列中线条的宽度和线条之间的线缝不同，线条阵列中的线条错开排列。本实用新型降低因为光学临近效应和刻蚀精度控制等工艺因素对对准标记图形成像质量的影响，以提高对位精度和对位效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 机器 视觉 对准 高精度 标记 结构 | ||
【主权项】：
一种基于机器视觉对准的高精度对准标记结构，其特征在于，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构的外型结构呈非对称型，非对称型包括非轴对称和非中心对称，基于机器视觉对准的高精度对准标记结构至少包含一个线条并行排列的线条阵列，线条阵列中线条的宽度和线条之间的线缝不同，线条阵列中的线条错开排列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张雯，未经张雯许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120064626.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种全自动闸刀控制器
- 下一篇：投影机、立体影像系统
