[实用新型]一种还原混合气加热与还原尾气降温相结合装置

摘要

一种还原混合气加热与还原尾气降温相结合装置，是由：氢气进口，氢气进气管道，三氯氢硅进口，混合气出口，热媒进口，热媒出口，还原尾气进口，还原尾气出口，列管层，冷媒进口，冷媒上出口，冷媒下出口，三氯氢硅残液出口，液位计上连接口，液位计下连接口，封头，筒体构成；能使还原炉排除的还原尾气所含带的热量被三氯氢硅气化不断吸收，从而使还原尾气温度降低，三氯氢硅气化混合气温度升高；降低多晶硅生产的投资成本和生产成本、提高效益，完善了还原系统稳定和安全操作的要求，无污染，有利于环境保护。结构简单，改造方便，减排降耗，减少排放的污染、增加效益；同时保护了环境。

主权项

一种还原混合气加热与还原尾气降温相结合装置，是由：氢气进口(1)，氢气进气管道(2)，三氯氢硅进口(3)，混合气出口(4)，热媒进口(5)，热媒出口(6)，还原尾气进口(7)，还原尾气出口(8)，列管层(9)，冷媒进口(10)，冷媒上出口(11)，冷媒下出口(12)，三氯氢硅残液出口(13)，液位计上连接口(14)，液位计下连接口(15)，封头(16)，筒体(17)构成，其特征在于：口径相同的双层圆筒形的封头(16)与双层筒体(17)口部相对应设置，封头(16)内层的上方通过管道穿过外层设置还原尾气进口(7)，封头(16)外层设置冷媒上出口(11)在还原尾气进口(7)的一侧，封头(16)内层的下方通过管道穿过外层设置还原尾气出口(8)，封头(16)外层的一侧设置冷媒进口(10)；封头(16)外层的下方还原尾气出口(8)的一侧设置冷媒下出口(12)；筒体(17)的内层与外层同心设置，筒体(17)内层的中部同心设置列管层(9)，筒体(17)内层上方的一端通过管道穿过外层设置混合气出口(4)，筒体(17)的外层上方，混合气出口(4)的一侧设置热媒出口(6)，筒体(17)内层上方的另一端通过管道穿过外层设置三氯氢硅进口(3)，三氯氢硅进口(3)的一侧通过管道穿过内、外层设置氢气进口(1)，氢气进口(1)的下端设置L形的氢气进气管道(2)，筒体(17)内层的一侧上部通过管道穿过外层设置液位计上连接口(14)，筒体(17)内层的一侧下部通过管道穿过外层设置液位计下连接口(15)，筒体(17)内层的下方一端通过管道穿过外层设置三氯氢硅残液出口(13)，筒体(17)外层的下方另一端设置热媒进口(5)。