[实用新型]化学机械研磨头限位环的使用寿命自动测量装置有效
| 申请号： | 201120070821.4 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN202057293U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 沙酉鹤 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/26 | 分类号： | G01B7/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种化学机械研磨头限位环的测量装置。本实用新型公开了一种化学机械研磨头限位环的使用寿命自动测量装置，所述限位环上布设有若干沟槽，所述自动测量装置包括控制装置和用于检测所述沟槽深度的检测装置，所述检测装置和所述控制装置连接，所述控制装置接收并分析来自所述检测装置的沟槽深度信息。本使用新型通过测得的沟槽深度并利用沟槽深度和限位环的使用寿命的正比例关系可以测算出限位环的剩余使用寿命，不但自动化程度高，避免了人为操作失误，而且无需利用限位环的晶圆使用片数历史记录，就可以对所有的限位环的剩余使用寿命进行测算。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 限位 使用寿命 自动 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨头限位环的使用寿命自动测量装置，所述限位环上布设有若干沟槽，其特征在于，所述自动测量装置包括控制装置和用于检测所述沟槽深度的检测装置，所述检测装置和所述控制装置连接。
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