[实用新型]一种单晶直拉工艺用籽晶夹头无效
申请号: | 201120071886.0 | 申请日: | 2011-03-18 |
公开(公告)号: | CN202030859U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 钱荣林;聂在涌 | 申请(专利权)人: | 浙江荣马电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 舒良 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种单晶直拉工艺用籽晶夹头,该籽晶夹头的籽晶通道位于籽晶夹身中但不贯穿于籽晶夹身,接头位于籽晶夹身一端,籽晶通道和销孔位于籽晶夹身中的另一端且部分重合,销孔的方向与籽晶通道的方向相交叉。采用本实用新型,当重锤与籽晶夹头衔接时,卡住籽晶夹头部位的锈铁等杂质不会掉落到硅熔液里而沾污硅料,有利于提高拉晶成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶直拉 工艺 籽晶 夹头 | ||
【主权项】:
一种单晶直拉工艺用籽晶夹头,包括接头、籽晶夹身、籽晶通道和销孔,接头位于籽晶夹身一端,籽晶通道和销孔位于籽晶夹身中的另一端且部分重合,销孔的方向与籽晶通道的方向相交叉,其特征在于籽晶通道位于籽晶夹身中但不贯穿于籽晶夹身。
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