[实用新型]薄膜厚度测量装置无效
| 申请号： | 201120080372.1 | 申请日： | 2011-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN202041181U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑志远;樊振军;张自力 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学北京 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜厚度测量装置，包括光源、迈克尔逊干涉仪和压力传感器，迈克尔逊干涉仪中可移动反射镜的背面设置有一支杆，所测薄膜夹持在支杆和压力传感器之间；压力传感器用于测量可移动反射镜移动过程中压力变化；光源发出的光束经迈克尔逊干涉仪产生干涉条纹，通过可移动反射镜在不同位置干涉条纹变化的数目和光源的半波长，得到所测薄膜的厚度。与现有测量薄膜厚度装置相比，本实用新型能够实现对不同透射率、不同反射率薄膜的测量，以及在形态上容易变形的薄膜的测量，可测量薄膜种类更为广泛，且测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜厚度测量装置，其特征在于，包括光源、迈克尔逊干涉仪和压力传感器，迈克尔逊干涉仪的可移动反射镜的背面设置有一支杆，所测薄膜夹持在支杆和压力传感器之间；压力传感器用于测量可移动反射镜移动过程中压力变化；光源发出的光束经迈克尔逊干涉仪产生干涉条纹，通过可移动反射镜在不同位置干涉条纹变化的数目和光源的半波长，得到所测薄膜的厚度。
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