[实用新型]太阳能硅片安全自动搬运装置无效
申请号: | 201120084560.1 | 申请日: | 2011-03-28 |
公开(公告)号: | CN202034398U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 翟骥;钱刚祥;陈力 | 申请(专利权)人: | 无锡荣兴科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;B65G49/07 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214028 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种太阳能硅片安全自动搬运装置。其包括直线电机、气缸座、气缸和硅片托盘组件,气缸座安装在直线电机的滑块上,气缸固定在气缸座上,硅片托盘组件安装在气缸的活塞杆上,硅片托盘组件通过气缸驱动升降运动,硅片托盘组件通过直线电机驱动水平纵向运动。本实用新型结构紧凑、巧妙、合理,反应灵敏,搬运硅片效率高,提高硅片的加工效率,广泛应用于各种硅片加工自动化设备或自动化生产线;设置有可保护硅片在搬运过程中的安全的结构,硅片受到阻挡物阻挡时,设备会报警并停止运行,可有效降低硅片的损坏率,减低材料成本。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 安全 自动 搬运 装置 | ||
【主权项】:
太阳能硅片安全自动搬运装置,其特征在于:包括直线电机(1)、气缸座(2)、气缸(4)和硅片托盘组件(5),气缸座(2)安装在直线电机(1)的滑块上,气缸(4)固定在气缸座(2)上,硅片托盘组件(5)安装在气缸(4)的活塞杆上,硅片托盘组件(5)通过气缸(4)驱动升降运动,硅片托盘组件(5)通过直线电机(1)驱动水平纵向运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的