[实用新型]适用于轻掺及中高阻直拉硅单晶的掺杂装置有效
| 申请号： | 201120085198.X | 申请日： | 2011-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN202047173U | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李巨晓;孙新利;王飞尧;何国君;张立安 | 申请（专利权）人： | 杭州海纳半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/02 | 分类号： | C30B31/02;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于轻掺及中高阻直拉硅单晶的掺杂装置，包括上吊杆（1）、下挂架（2）和石英托盘（6）；在下挂架（2）的上表面搁置三爪架（3），上吊杆（1）从上至下的贯穿三爪架（3）的中心通孔后与下挂架（2）固定相连，与三爪架（3）固定相连的不锈钢导轨（4）从上至下的贯穿下挂架（2），石英托盘（6）位于不锈钢导轨（4）的下方，石英托盘（6）的左端通过左石英吊杆（5）与不锈钢导轨（4）的底端固定相连，石英托盘（6）的右端通过右石英吊杆（8）与下挂架（2）的底端固定相连。在常规的CZ单晶炉中使用该掺杂装置，能轻易实现向炉内的晶锭原料中添加掺杂剂。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 中高 阻直拉硅单晶 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
适用于轻掺及中高阻直拉硅单晶的掺杂装置，其特征是：包括上吊杆（1）、下挂架（2）和用于盛放掺杂剂的石英托盘（6）；在下挂架（2）的上表面搁置三爪架（3），上吊杆（1）从上至下的贯穿三爪架（3）的中心通孔后与下挂架（2）固定相连，与三爪架（3）固定相连的不锈钢导轨（4）从上至下的贯穿下挂架（2），石英托盘（6）位于不锈钢导轨（4）的下方，所述石英托盘（6）的左端通过左石英吊杆（5）与不锈钢导轨（4）的底端固定相连，石英托盘（6）的右端通过右石英吊杆（8）与下挂架（2）的底端固定相连。
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