[实用新型]快速达到高真空的装置无效
| 申请号： | 201120092053.2 | 申请日： | 2011-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN202039121U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘辛 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 快速达到高真空的装置，它涉及一种真空系统。高真空过渡腔体通过高真空阀门与冷冻腔体的一端连接，冷冻腔体的另一端与高真空泵的一端连接，冷冻腔体的内部设置有制冷盘管，制冷盘管与冷冻控制器连接，高真空泵的另一端通过前级管线阀门连接至粗抽阀门与前二级机械泵之间，粗抽管线的一端与前二级机械泵，另一端通过粗抽阀门与高真空阀门前端的真空管线连接；本实用新型可使高真空过渡腔体快速达到高真空，达到高真空的时间较一般真空系统可缩短50～90％，降低了能耗，提高了生产效率和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 达到 真空 装置 | ||
【主权项】：
快速达到高真空的装置，其特征在于它包含高真空过渡腔体(1)、腔体排空阀门(2)、高真空阀门(3)、冷冻腔体(4)、冷冻控制器(5)、制冷盘管(6)、高真空泵(7)、粗抽阀门(8)、粗抽管线(9)、前级管线阀门(10)、前级管线排空阀门(11)、前二级机械泵(12)；高真空过渡腔体(1)通过高真空阀门(3)与冷冻腔体(4)的一端连接，冷冻腔体(4)的另一端与高真空泵(7)的一端连接，腔体排空阀门(2)设置在高真空过渡腔体(1)的近前处，冷冻腔体(4)的内部设置有制冷盘管(6)，制冷盘管(6)与冷冻控制器(5)连接，高真空泵(7)的另一端通过前级管线阀门(10)连接至粗抽阀门(8)与前二级机械泵(12)之间，粗抽管线(9)的一端与前二级机械泵(12)，另一端通过粗抽阀门(8)与高真空阀门(3)前端的真空管线连接，前级管线排空阀门(11)设置在前二级机械泵(12)的近前处。
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