[实用新型]一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置无效

专利信息
申请号: 201120095615.9 申请日: 2011-04-02
公开(公告)号: CN201982385U 公开(公告)日: 2011-09-21
发明(设计)人: 徐均琪;惠迎雪;梁海锋;弥谦;杭凌侠;苏俊宏 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 黄秦芳
地址: 710032*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型涉及油扩散泵技术领域,具体涉及一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置。现有的加热方式使用不方便:电阻丝很容易烧断,需要经常更换;影响产品的质量:加热方式不稳定,影响真空系统的正常工作;热效率低;生产效率低。为克服现有技术存在的问题,本实用新型提供的一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置,其特征在于:包括依次相接的励磁线圈、高频电源和控制器,励磁线圈的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳。本实用新型改变了原有的加热方式,利用电磁感应的方式,直接在底板内产生涡流,最终实现加热扩散泵油的目的。本实用新型的优点是:热效率高、升温迅速、易于温控、拆卸方便,加热装置的使用寿命长,使用更方便。
搜索关键词: 一种 用于 真空 系统 中的 扩散 加热 装置
【主权项】:
一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置,其特征在于:包括依次相接的励磁线圈(5)、高频电源(6)和控制器(7),励磁线圈(5)的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳(4)。
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