[实用新型]一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置

摘要

本实用新型涉及一种单晶硅太阳电池经过PECVD工序后快速、均匀散热的装置，它可广泛应用于单晶硅太阳能电池PECVD后快速、均匀散热的处理，属于太阳能电池PECVD工治具技术改进领域，包括带有工作台面的支架，所述工作台面的中部设置为镂空网板，镂空网板的下方安装有风扇。本实用新型一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，可使等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）沉积后的单晶硅电池片快速、全面的冷却。

主权项

一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，包括带有工作台面的支架，其特征在于：所述工作台面的中部设置为镂空网板，镂空网板的下方安装有风扇。