[实用新型]一种钟罩式热壁碳化硅高温外延片生长装置

摘要

本实用新型涉及一种钟罩式热壁碳化硅高温外延片生长装置，包括支架、升降架、石墨托盘、石英钟罩、隔热板、射频加热器、不锈钢腔体。本实用新型在电机的驱动下，带动石墨管和上层石墨盖和中层石墨托盘一起转动，反应气体从石英管进入，从上层石墨盖与石墨环预留有间隙溢出，形成气体的自然对流，使装设在上层石墨盖的基片与装设在中层石墨托盘之间的气流形成从中心到外缘的均匀的流场、温度场和浓度场，从而在基板上形成均匀的外延层。

主权项

一种钟罩式热壁碳化硅高温外延片生长装置，其特征在于，包括支架、升降架、石墨托盘、石英钟罩、隔热板、射频加热器、不锈钢腔体；石墨托盘固定于支架上，支架设有支撑杆，升降架设于该支撑杆上并以一电机驱动，所述石英钟罩、隔热板、射频加热器固定于升降架上，且石英钟罩与升降架之间密闭连接；不锈钢腔体与支架固定连接，所述石墨托盘包括石墨管、石英管、上层石墨盖及中层石墨托盘、石墨环、一电机，中层石墨托盘下端部中央设有凹槽，凹槽上方中央设有通孔；所述石墨管上端置入中层石墨托盘底部的凹槽内配合定位；石英管套设于石墨管内，且石英管的管芯与凹槽上方的通孔联通；上层石墨盖下端设有容纳基片的基板槽，中层石墨托盘上端设有容纳基板的基板槽及凸出于中层石墨托盘上表面的支撑块，上层石墨盖设于中层石墨托盘上端，之间以支撑块衔接；石墨环环绕于中层石墨托盘和上层石墨盖设置，且上层石墨盖与石墨环预留有间隙；所述石墨管还与另一电机驱动连接；所述石墨托盘以保温碳毡包裹，并固定于不锈钢腔体的不锈钢底托上；不锈钢腔体上设有排气口。