[实用新型]密封圈及应用该密封圈的等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201120096149.6 | 申请日： | 2011-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN201973238U | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张刚;李东三;刘利坚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种密封圈及应用该密封圈的等离子体加工设备，所述密封圈用于密封被密封件，其包括密封圈本体，所述密封圈本体与所述被密封件的接触面上设有受压变形的凸部。借助该凸部可以提高密封圈的变形量，从而可以提高密封圈的密封效果。借助本实施例提供的密封圈不仅可以使等离子体加工设备的基座和托盘保持良好的接触，从而提高等离子体加工设备的加工质量；而且可以使背吹空间获得良好的密封，可以减少因氦气泄漏对工艺腔室真空度的影响，以及减少氦气的使用量，从而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 密封圈 应用 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种密封圈，用于密封被密封件，包括密封圈本体，其特征在于，所述密封圈本体与所述被密封件的接触面上设有受压变形的凸部。
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