[实用新型]蓝光光盘用母盘在审
申请号: | 201120096672.9 | 申请日: | 2011-04-02 |
公开(公告)号: | CN202049738U | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 叶健;刘彤;杨明生 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | G11B7/24 | 分类号: | G11B7/24 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝光光盘用母盘,其在光刻胶层与基片之间形成有一碳化吸光层,并将光刻胶层形成于碳化吸光层上,因此,在后续的曝光及显影过程中,碳化吸光层能有效减少光线在界面上的反射,增加光刻胶层下表面的光能吸收,进而提高光线的吸收率,来提高光刻胶的感光分辨率,以增加光刻胶底部的曝光宽度,使光刻胶层底部的曝光宽度接近上表面的宽度,增加沟槽斜率,从而提高沟槽密度以满足蓝光光盘的精度要求。 | ||
搜索关键词: | 光盘 母盘 | ||
【主权项】:
一种蓝光光盘用母盘,其特征在于,包括基片、碳化吸光层及光刻胶层,所述碳化吸光层形成于所述基片的一侧面上,所述光刻胶层形成于所述碳化吸光层上,且所述光刻胶层形成凹凸形结构。
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