[实用新型]顶部开视镜孔的多晶硅还原炉无效
申请号: | 201120096887.0 | 申请日: | 2011-04-02 |
公开(公告)号: | CN201952239U | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 刘春江;黄哲庆;胡雪沁;袁希钢 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种顶部开视镜孔的多晶硅还原炉,在还原炉炉体夹套的封头上设置有视镜孔。视孔镜是由为螺栓、法兰和热反射玻璃组成,两层热反射玻璃嵌在三个法兰之间,通过螺栓固定在封头上。视镜孔通常为为1~8个,均匀分布在封头上。与现有多晶硅还原炉相比,本实用新型能保证还原炉特别是大型还原炉能够长期、安全、高效、稳定的生产。 | ||
搜索关键词: | 顶部 开视镜孔 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种顶部开视孔镜的多晶硅还原炉,其特征是在还原炉炉体夹套的封头上设置有视镜孔。
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