[实用新型]用于重掺硅单晶制造的热系统有效
| 申请号： | 201120097024.5 | 申请日： | 2011-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN202039153U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李建弘;康冬辉;李烨;董兆清;徐强;张焕新;王林;许海波 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 莫琪 |
| 地址： | 300384 天津市南开*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于重掺硅单晶制造的热系统，包括上保温筒、下保温筒、底盘保温层、支撑盖、大盖和导流筒构成，上保温筒、下保温筒和底盘保温层采用新型复合隔热材料；复合隔热材料为碳毡和石墨硬毡层叠而成的多层材料，且在其内表面涂覆有一层光亮的钼金属反射层；支撑盖的材料为石墨硬毡；大盖由石墨和石墨硬毡的复合材料制成，其复合材料下层为石墨硬毡，本实用新型解决了重掺硅单晶拉制过程中由于温度波动而引起的组分过冷和断苞难题，提高了重掺砷单晶轴向电阻率均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 重掺硅单晶 制造 系统 | ||
【主权项】：
用于重掺硅单晶制造的热系统，包括大盖（1）、上保温筒（2）、支撑盖（3）、下保温筒（4）、底盘保温层（6）、和导流筒（9），其特征在于，上保温筒（2）、下保温筒（4）和底盘保温层（6）采用新型复合隔热材料；所述复合隔热材料为碳毡和石墨硬毡层叠而成的多层材料，且在底盘保温层（6）内表面涂覆有一层光亮的钼金属反射层；所述的支撑盖（3）的材料为石墨硬毡；所述的大盖（1）由石墨和石墨硬毡的复合材料制成，其复合材料下层为石墨硬毡。
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