[实用新型]一种磷扩散用匀流板有效
| 申请号： | 201120099040.8 | 申请日： | 2011-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN201956382U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 王立建;李潘剑 | 申请（专利权）人： | 无锡市佳诚太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磷扩散用匀流板，所述匀流板的材质为石英板，石英板上均匀分布有匀流气孔；所述匀流气孔的直径3-5mm；所述石英板的厚度为300um-500um。本实用新型的匀流板由于分布有多个匀流气孔，在使用时，将匀流板至于扩散用石英舟的炉口及炉尾，在进行磷扩散时，掺杂源的气流会匀流气孔中均匀的流入待扩散的硅片中，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高方块电阻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 用匀流板 | ||
【主权项】：
一种磷扩散用匀流板，其特征是：所述匀流板的材质为石英板，石英板上均匀分布有匀流气孔；所述匀流气孔的直径3 5mm；所述石英板的厚度为300um 500um。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
