[实用新型]一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置

摘要

一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置，涉及一种射频电源的调谐匹配装置，它包括功率检测模块、相位检测模块、电容调谐控制模块1、电容调谐控制模块2、偏压检测模块、单片机模块及串口通信模块；其中功率检测模块分别与相位检测模块、射频源相连，相位检测模块与电容调谐控制模块2相连，电容调谐控制模块2与电容调谐控制模块1相连，电容调谐控制模块1与偏压检测模块相连，功率检测模块、相位检测模块、电容调谐控制模块1、电容调谐控制模块2、偏压检测模块分别与单片机相连，单片机又通过RS-485(或RS-232)串口与计算机相连，具有调谐速率快、调谐成功率高、跟踪调谐、功率数字显示及恒功率输出等特点。

主权项

一种采用相位检测实现射频电源自动跟踪调谐的装置，其特征在于：包括功率检测模块、相位检测模块、第一电容调谐控制模块(1)、第二电容调谐控制模块(2)、偏压检测模块、单片机模块及串口通信模块；其中功率检测模块分别与相位检测模块、射频源相连，相位检测模块与第二电容调谐控制模块(2)相连，第二电容调谐控制模块(2)与第一电容调谐控制模块(1)相连，第一电容调谐控制模块(1)与偏压检测模块相连，功率检测模块、相位检测模块、第一电容调谐控制模块(1)、第二电容调谐控制模块(2)、偏压检测模块分别与单片机相连，单片机又通过RS‑485或RS‑232串口与计算机相连。