[实用新型]一种超高纯电子级磷酸的生产装置

摘要

本实用新型公开了一种超高纯电子级磷酸的生产装置，由三氯氧磷储罐(23)、三氯氧磷蒸气发生器(7)、水蒸气发生器(6)、带集液槽(8)的磷酸发生器(1)、脱氯器(2)、磷酸储槽(9)、真空泵(22)、带母液槽(11)的盐酸集液器(3)、盐酸蒸发器(10)、带循环槽(16)的盐酸吸收器(4)、换热器(17)、循环泵(18)、盐酸储槽(13)、尾气引风机(24)、尾气塔(5)以及连接管道组成。本实用新型的优点有：①系统密闭，环境对产品纯度无影响；②有效控制水蒸气与三氯氧磷蒸汽的比例，调剂磷酸浓度，降低高纯磷酸浓缩耗能；③有效抑制磷酸中盐酸含量和盐酸中磷酸含量，节省磷酸脱氯和盐酸脱磷工序时间和能耗；④磷酸发生器内水汽和三氯氧磷蒸汽有效接触面大。适于用高纯三氯化磷生产超高纯电子级磷酸。

主权项

一种超高纯电子级磷酸的生产装置，其特征在于该装置由三氯氧磷储罐(23)、三氯氧磷蒸气发生器(7)、水蒸气发生器(6)、带集液槽(8)的磷酸发生器(1)、脱氯器(2)、磷酸储槽(9)、真空泵(22)、带母液槽(11)的盐酸集液器(3)、盐酸蒸发器(10)、带循环槽(16)的盐酸吸收器(4)、换热器(17)、循环泵(18)、盐酸储槽(13)、尾气引风机(24)、尾气塔(5)以及连接管道组成；其中，三氯氧磷储槽(23)、三氯氧磷蒸气发生器(7)通过管道连接到磷酸发生器(1)中部；水蒸气发生器(6)通过管道分别与磷酸发生器(1)的上部和下部连接；磷酸发生器(1)的集液槽(8)有管道与脱氯器(2)连接，脱氯器(2)又通过管道分别与磷酸储槽(9)及真空泵(22)连接；磷酸发生器(1)顶部有管道与盐酸集液器(3)连接，盐酸集液器(3)的母液槽(11)又通过管道分别与盐酸蒸发器(10)和盐酸吸收器(4)连接；盐酸吸收器(4)的循环槽(16)又有管道依次连接换热器(17)、循环泵(18)并回到盐酸吸收器(4)，盐酸吸收器(4)顶部管道连接尾气引风机(24)进入尾气塔(5)，循环泵(18)出口有分支管道连接盐酸储槽(13)。