[实用新型]具有制冷装置的钽金属表面钝化装置

摘要

本实用新型涉及一种具有制冷装置的钽金属表面钝化装置，其包括热处理炉，及一使反应器内气体循环冷却系统，所述气体循环冷却系统主要包括：气体冷却管道、气体缓冲室、制冷室和气体循环泵；其中，气体循环泵将气体送入制冷室被制冷，并将制冷的气体送入反应室下部；将反应室里温度较高的气体从反应室上部抽出，经过气体冷却管道而被冷却后再送入制冷室被制冷，然后又被送入反应室下部，如此循环。利用本实用新型的钽金属表面钝化装置进行钽金属表面钝化，安全可靠，生产效率高，不会发生钽金属的激烈氧化；得到的钽金属氧含量低，并且由如此制得的钽金属阳极漏电流低，电性能好。

主权项

一种具有制冷装置的钽金属表面钝化装置，其包括热处理炉，所述热处理炉包括：反应室(10)、组成所述反应室(10)的带水冷夹套的炉壳(11)、抽空管道（41）、设置于所述反应室里的加热器（50）及置于加热器（50）内容纳钽金属（70）的热处理坩埚（80），其特征在于该钽金属表面钝化装置还包括一使反应器内气体冷却循环系统(100A)，所述气体冷却循环系统(100A)主要包括：‑气体冷却管道(08)，该气体冷却管道的进气口与反应室上部出口(07)相连，其出口与制冷室进口（02）相连；‑气体缓冲室（20），该气体缓冲室（20）设有惰性气体入口（21）和含氧气体入口（22），并与制冷室（01）连通；‑制冷室（01），该制冷室里（01）设有与冷冻机（03）相连的制冷介质管（04），且其出口（05）与保温管道（06）连接；‑气体循环泵（09），该气体循环泵（09）设在保温管道（06）上，并通过管道连通到反应室气体入口（40）。