[实用新型]小型化原位纳米压痕测试装置无效
申请号: | 201120115368.4 | 申请日: | 2011-04-19 |
公开(公告)号: | CN202057617U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 赵宏伟;黄虎;袁英堃;米杰;杨洁;万顺光;马志超;王小月;耿春阳 | 申请(专利权)人: | 赵宏伟 |
主分类号: | G01N23/22 | 分类号: | G01N23/22;G01N23/02 |
代理公司: | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人: | 王怡敏 |
地址: | 130025 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种小型化原位纳米压痕测试装置,属于机电一体化的精密科学仪器。主要由Z轴宏动调整机构、压电精密驱动压入单元、载荷信号和位移信号检测单元等组成,其中Z轴宏动调整机构安装在底座上,压电精密驱动压入单元通过U形连接板连接在宏动调整机构的微动滑台上,用于位移信号检测的位移传感器固连在U形连接板内部,用于载荷信号检测的力传感器安装在支撑板上。具有结构紧凑,体积小,精度高等特点,可以置于SEM或TEM的真空腔内实现材料的原位纳米压痕试验,为进一步深入研究材料在载荷作用下的变形损伤机制提供便利。 | ||
搜索关键词: | 小型化 原位 纳米 压痕 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种小型化原位纳米压痕测试装置,其特征在于:包括Z轴宏动调整机构、压电精密驱动压入单元及载荷信号和位移信号检测单元,所述的Z轴宏动调整机构安装在底座(1)上,压电精密驱动压入单元通过U形连接板(4)连接在Z轴宏动调整机构的微动滑台(3)上,载荷信号和位移信号检测单元的精密位移传感器(8)固连在U形连接板(4)内部,精密力传感器(15)安装在支撑板(16)上,该支撑板(16)与底座(1)连接,压头(10)安装在载荷信号和位移信号检测单元的力转换铰链(14)的上端。
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