[实用新型]硅单晶炉测温探头安装机构无效
| 申请号： | 201120118897.X | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN202054929U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘宗杰 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，所述安装孔处于同一圆周上，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头，上述硅单晶炉测温探头安装机构的安装法兰的安装孔采用不对称分布，避免了维修拆装时，产生的位置偏差，确保每次安装的一致性，不仅结构简单，易于实现，而且安装便捷，避免由于位置偏差导致的温度偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 硅单晶炉 测温 探头 安装 机构 | ||
【主权项】：
一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，其特征在于：所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。
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