[实用新型]一种单晶硅生长用籽晶夹头有效
申请号: | 201120123066.1 | 申请日: | 2011-04-25 |
公开(公告)号: | CN202047168U | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 孙武;郭樱花 | 申请(专利权)人: | 陕西西京电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
代理公司: | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人: | 佘文英 |
地址: | 710065 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶硅生长用籽晶夹头,其特征为一上下贯通的圆柱型空腔,空腔上部有螺纹或销联,在空腔中下部、位于同一水平线上、以圆柱型空腔中心线为中心对称有两个相同的贯通圆柱表面的圆孔。本实用新型既可以保证中心度良好,可适用于大直径单晶生长,同时加工方便,可大规模普及使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 生长 籽晶 夹头 | ||
【主权项】:
一种单晶硅生长用籽晶夹头,其特征为一上下贯通的圆柱型空腔,空腔上部有螺纹或销联,在空腔中下部同一水平线上,以圆柱型空腔中心线为中心对称有两个相同的贯通圆柱表面的圆孔。
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