[实用新型]一种抛光垫清洁装置及抛光装置有效
| 申请号： | 201120123174.9 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN202053164U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 邓武锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种抛光垫清洁装置及抛光装置，包括：清洁臂，设于所述抛光垫上方并能够相对所述抛光垫运动，其内部设有至少一路送气管和至少一路吸气管；多个喷嘴，设于所述清洁臂靠近所述抛光垫的底面上，并分别与所述送气管或吸气管相通。通过对送气管送气后，与送气管相通的喷嘴会将抛光垫上的工艺副产物吹起，同时对吸气管吸气后，与吸气管相通的喷嘴会将被吹起的工艺副产物吸走，该清洁装置结构简单，操作方便，能在抛光制程中将抛光垫上的工艺副产物物清理干净，保持晶片抛光速率的稳定性，减少抛光缺陷，提高晶片抛光性能和工艺效率，同时延长抛光垫和修整器的使用寿命，适用于各种抛光制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光垫清洁装置，用于清洁抛光垫，其特征在于，包括：清洁臂，设于所述抛光垫上方并能够相对所述抛光垫运动，其内部设有至少一路送气管和至少一路吸气管；多个喷嘴，设于所述清洁臂靠近所述抛光垫的底面上，并分别与所述送气管或吸气管相通。
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