[实用新型]一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置无效
| 申请号： | 201120128426.7 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN202111925U | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 陈波 | 申请（专利权）人： | 成都科尚科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/48 | 分类号： | H05H1/48 |
| 代理公司： | 成都科奥专利事务所(普通合伙) 51101 | 代理人： | 王蔚 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新区天府大*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置，该等离子体发生装置在放电腔室(5)的顶部设有三根铈钨阴极(2)，在放电腔室(5)的顶部中央设有与工作气体源连接的气体源接口(3)，在放电腔室(5)的底部设有绝缘层(7)，在绝缘层(7)下设有水冷铜板(10)，绝缘层-水冷铜板交错叠加5-8次，各绝缘层(7)和水冷铜板(10)的中心孔连通构成放电通道(15)，设有拉瓦尔喷嘴(17)的阳极(9)安装在最下面绝缘层(16)的下方，阳极(9)直接接地，三根水冷钨阴极(2)与直流电源连接。本实用新型不仅能保证产生高密度等离子体，而且还具有电源能量转换率高、操作和维护方便、使用寿命长等优点，特别适合进行快速薄膜沉积使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 多级 直流 放电 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置，包括放电腔室(5)、阴极(2)和阳极(9)，阳极(9)接地，阴极(2)与直流电源连接，其特征在于：阴极(2)为钨阴极，共三根，插装在放电腔室(5)的顶部，其尖端部分位于放电腔室(5)中，每两根钨阴极(2)之间的夹角为120°，在放电腔室(5)的顶部中央设有惰性气体源接口(3)，在放电腔室(5)的底部设有绝缘层(7)，在绝缘层(7)下设有水冷铜板(10)，绝缘层‑水冷铜板交错叠加5‑8次，各绝缘层(7)和水冷铜板(10)的中心孔连通构成放电通道(15)，设有拉瓦尔喷嘴(16)的阳极(9)安装在最下面绝缘层(7)的下方。
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